Отрывок: 16 Рисунок 7 – Шаговый двигатель 17HS4401 Данный двигатель имеет точность вращения, равную 1.8 град/шаг, крутящий момент составляет 40 Н/см. Для установки шаговых двигателей на координатный стол были разработаны и распечатаны 3D- модели креплений (рисунок 8). Рисунок 8 – 3D-модели креплений шаговых двигателей 17 Для передачи вращающего момента шаговых двигателей на шпильку координатного стола (передача типа «винт-гайк...
Название : | Разработка системы лазерной записи по фоторезисту |
Авторы/Редакторы : | Комаров А. В. Агафонов А. Н. Угланов Д. А. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2018 |
Библиографическое описание : | Комаров, А. В. Разработка системы лазерной записи по фоторезисту : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Комаров ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Д. А. Угланов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элек. - Самара, 2018. - on-line |
Аннотация : | Данная работа посвящена разработке конструкции и изготовлению установки для выполнения безмасковой лазерной литографии, используемой при создании устройств микросистемной техники и микрофлюидных систем с характерными размерами структур более 50 мкм |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718132222 |
Ключевые слова: | безмасковая лазерная литография микросистемная техника микрофлюидные системы лазерная литография прямая лазерная запись |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Комаров_Антон_Вячеславович_Разработка_системы_лазерной_записи.pdf | 2.17 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.