Отрывок: Рисунок 14 – Схема установки ионно-плазменного травления где 1-Вакуумная камера; 2-Клапан напуска аргона; 3-Катод с установленными мишенями; 4-Анод; 5-Плазма тлеющего разряда. 2.Ионно-лучевое травление: Подложка помещается на столик, откачивается атмосфера в камере, напускается Ar (0,1 Па). Подключается термокатод, и, вследствие бомбардировки ионами высокой энергии возн...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorСамсонов О. О.ru
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.ru
dc.contributor.authorПиганов М. Н.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialМЭМС технологияru
dc.coverage.spatialмикроэлектромеханические системыru
dc.coverage.spatialгироскопыru
dc.coverage.spatialтравлениеru
dc.coverage.spatialэкспонированиеru
dc.creatorСамсонов О. О.ru
dc.date.issued2018ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180716142743ru
dc.identifier.citationСамсонов, О. О. Разработка технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе структур кремний-на-изоляторе : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / О. О. Самсонов ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является МЭМС гироскоп, выполненный в SOI структуре с размерами: толщина несущего слоя - 400 мкм, толщина оксидного слоя - 10 мкм, толщина слоя поликремния - 12 мкм, разработка технологии изготовления данного устройства, а так же разработка методики исследования МЭМС гироскопа и анализ полученных результатов. Цель работы – разработка технологии и исследование МЭМС гироскопа. В данной работе была рассмотрена МЭМС технология, ее особенности и преимущества, некоторые устройства, которые изготавливаются по этой технологии, в частности, гироскопы. Рассмотрены методы производства МЭМС гироскопа, такие как: литография, экспонирование и травление. Была разработана технология изготовления МЭМС гироскопа, которая включала в себя: RCA обработку, оптическую литографию, экспонирование в ультрафиолетовой лампе, травление с использованием Bosch процесса и процесс освобождения. В результате эксперимента были выявлены нужные параметры данных процессов, получен требуемый образец МЭМС гироскопа, сделаны егru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 3,2 Мб)ru
dc.titleРазработка технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе структур кремний-на-изолятореru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.09ru
dc.subject.udc621.38ru
dc.textpartРисунок 14 – Схема установки ионно-плазменного травления где 1-Вакуумная камера; 2-Клапан напуска аргона; 3-Катод с установленными мишенями; 4-Анод; 5-Плазма тлеющего разряда. 2.Ионно-лучевое травление: Подложка помещается на столик, откачивается атмосфера в камере, напускается Ar (0,1 Па). Подключается термокатод, и, вследствие бомбардировки ионами высокой энергии возн...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Самсонов_Олег_Олегович_Разработка_технологии_изготовления_микроэлектромеханических.pdf3.25 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.