Отрывок: Благодаря высокой селективности и возможности проведения травления без использования пониженных температур, на сегодняшний день Bosch- процесс является самым оптимальным для формирования на кремниевых подложках вертикальных структур глубиной порядка сотен микрон. 21 2 Технологические процессы очистки поверхности полупроводниковых пласти...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Михайлов Д. С. | ru |
dc.contributor.author | Павельев В. С. | ru |
dc.contributor.author | Полетаев С. Д. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | BOSCH процессы | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционная оптика | ru |
dc.coverage.spatial | источник индуктивно-связанной плазмы | ru |
dc.coverage.spatial | анизотропное травление кремнием | ru |
dc.coverage.spatial | плазмохимическое травление | ru |
dc.creator | Михайлов Д. С. | ru |
dc.date.issued | 2018 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718133421 | ru |
dc.identifier.citation | Михайлов, Д. С. Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. С. Михайлов ; рук. работы В. С. Павельев; рец. С. Д. Полетаев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эл. - Самара, 2018. - on-line | ru |
dc.description.abstract | В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с методами анизотропного плазмохимического травления.Цель работы – получение трехуровневого рельефа в кремниевой подложке методом глубокого анизотропного плазмохимического травления.Рассмотрены достоинс | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,5 Мб) | ru |
dc.title | Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.31 | ru |
dc.subject.udc | 535.42 | ru |
dc.textpart | Благодаря высокой селективности и возможности проведения травления без использования пониженных температур, на сегодняшний день Bosch- процесс является самым оптимальным для формирования на кремниевых подложках вертикальных структур глубиной порядка сотен микрон. 21 2 Технологические процессы очистки поверхности полупроводниковых пласти... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Михайлов_Дмитрий_Сергеевич_Разработка_технологии_изготовления_трехуровневого.pdf | 1.55 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.