Отрывок: 21 Рисунок 7 – Фрагмент топологии управляемой дифракционной решетки После экспонирования было проведено проявления резиста проявителем УПФ-1Б в течении 10 сек, затем осуществлены промывка дистиллированной водой и сушка потоком осушенного воздуха до исчезновения с...
Название : | Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок |
Авторы/Редакторы : | Лобачева А. И. Агафонов А. Н. Пиганов М. Н. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2018 |
Библиографическое описание : | Лобачева, А. И. Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. И. Лобачева ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования настоящей работы являются тонкие пленки оксида индий-олова, полученные методом реактивного магнетронного распыления.Цель работы – получить тонкие пленки оксида индия-олова и экспериментально исследовать их электрические свойства.В |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718133143 |
Ключевые слова: | реактивное магнетронное распыление оксид индий-олово прозрачные токопроводящие пленки четырехзондовый метод измерения |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Лобачева_Анастасия_Игоревна_Технология_изготовления_электрические.pdf | 3.28 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.