Отрывок: 21 Рисунок 7 – Фрагмент топологии управляемой дифракционной решетки После экспонирования было проведено проявления резиста проявителем УПФ-1Б в течении 10 сек, затем осуществлены промывка дистиллированной водой и сушка потоком осушенного воздуха до исчезновения с...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Лобачева А. И. | ru |
dc.contributor.author | Агафонов А. Н. | ru |
dc.contributor.author | Пиганов М. Н. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | реактивное магнетронное распыление | ru |
dc.coverage.spatial | оксид индий-олово | ru |
dc.coverage.spatial | прозрачные токопроводящие пленки | ru |
dc.coverage.spatial | четырехзондовый метод измерения | ru |
dc.creator | Лобачева А. И. | ru |
dc.date.issued | 2018 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718133143 | ru |
dc.identifier.citation | Лобачева, А. И. Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. И. Лобачева ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования настоящей работы являются тонкие пленки оксида индий-олова, полученные методом реактивного магнетронного распыления.Цель работы – получить тонкие пленки оксида индия-олова и экспериментально исследовать их электрические свойства.В | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 3,2 Мб) | ru |
dc.title | Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.01 | ru |
dc.subject.udc | 537.5 | ru |
dc.textpart | 21 Рисунок 7 – Фрагмент топологии управляемой дифракционной решетки После экспонирования было проведено проявления резиста проявителем УПФ-1Б в течении 10 сек, затем осуществлены промывка дистиллированной водой и сушка потоком осушенного воздуха до исчезновения с... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Лобачева_Анастасия_Игоревна_Технология_изготовления_электрические.pdf | 3.28 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.