Отрывок: Детальные исследования с помощью рентгеновской фотоэлектронной микро- скопии и ионной спектроскопии средних энергий показывают, что межфаз- ный слой состоит из GeO2, а его толщина составляет около 0,3 нм [69]. Со- гласованные результаты различных групп, независимо от методов осаждения high-k диэлектриков, предполагают, что это можно объяснить внутренними свойствами, связанными с термодинамической нестабильно...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Кропотов М. С. | ru |
dc.contributor.author | Шалимова М. Б. | ru |
dc.contributor.author | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Естественнонаучный институт | ru |
dc.coverage.spatial | германий | ru |
dc.coverage.spatial | затворные high-k диэлектрики | ru |
dc.coverage.spatial | МДП-устройства | ru |
dc.coverage.spatial | полевые транзисторы | ru |
dc.coverage.spatial | полупроводниковые устройства | ru |
dc.coverage.spatial | соединения редкоземельных элементов | ru |
dc.creator | Кропотов М. С. | ru |
dc.date.issued | 2021 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210924140644 | ru |
dc.identifier.citation | Кропотов, М. С. Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / М. С. Кропотов ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики т. - Самара, 2021. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования данной выпускной квалификационной работы являются МДП-структуры со фторсодержащими high-k диэлектриками. Целью работы является анализ изменения параметров германиевых МДП- структур с high-k диэлектриками (фториды иттрия, неодима, самария), подвергнутых действию высокого электрического поля в процессе электроформовки. В качестве экспериментальных образцов использовались фторсодержащие диэлектрические пленки на монокристаллических подложках германия. Измерены высокочастотные вольт-ёмкостные характеристики получившихся МДП-структур с последующей оценкой и анализом влияния воздействия электрических полей на деградацию их параметров. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 2,3 Мб) | ru |
dc.title | Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.33.29 | ru |
dc.subject.udc | 621.382 | ru |
dc.textpart | Детальные исследования с помощью рентгеновской фотоэлектронной микро- скопии и ионной спектроскопии средних энергий показывают, что межфаз- ный слой состоит из GeO2, а его толщина составляет около 0,3 нм [69]. Со- гласованные результаты различных групп, независимо от методов осаждения high-k диэлектриков, предполагают, что это можно объяснить внутренними свойствами, связанными с термодинамической нестабильно... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Кропотов_Михаил_Сергеевич_Вопросы_надёжности_устройств.pdf | 2.33 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.