Отрывок: область полупроводника; – построение концентрационных профилей атомов полупроводника и «вакансий» в расплаве в логарифмическом масштабе; – расчёт времени облучения структуры металл-полупроводник для достижения заданных глубины легирования и концентрации атомов полупроводника в слое расплава; – визуализация концентрационных профилей в цвете; – формирование базы данных материалов, образующих структуру «металл-полупроводник», с возможностью ввода, сохранения, удаления, редактирования...
Название : | Исследование формирования каталитической маски во внеэлектродной плазме с помощью разработанного программного обеспечения |
Авторы/Редакторы : | Николаев, А.В. Маркушин, М.А. Колпаков, В.А. |
Ключевые слова : | Плазма Каталитическая маска Моделирование |
Дата публикации : | Май-2019 |
Издательство : | ООО "АРТЕЛЬ" |
Библиографическое описание : | Николаев, А.В. Исследование формирования каталитической маски во внеэлектродной плазме с помощью разработанного программного обеспечения / А.В. Николаев, М.А. Маркушин, В.А. Колпаков М.А. Маркушин, В.А. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций: материалы Всероссийской научно-технической конференции (г. Самара, 14-16 мая 2019 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева, под. ред. А. И. Данилина - Самара : ООО «АРТЕЛЬ», 2019. – С. 138-140. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-formirovaniya-kataliticheskoi-maski-vo-vneelektrodnoi-plazme-s-pomoshu-razrabotannogo-programmnogo-obespecheniya-77419 |
ISBN : | 978-5-903-943-11-1 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20190613\77419 |
УДК: | 537.5; 537.525.99 519.688 |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
138-140.pdf | Исследование формирования каталитической маски во внеэлектродной плазме с помощью разработанного программного обеспечения | 213.11 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.