Отрывок: Проводится численное моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры. В результате проведенных чис ленных экспериментов получены следующие результаты: значения нерав номерностей толщины пленки и плотностей границ зерен, полученные из численных экспериментов, колебались, в зависимости от условий роста, от ±14,1% до ±28,85% и от 0,037 до 0,071 соответственно. Удел...
Название : | Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры |
Авторы/Редакторы : | Осипов А. Н. Филимонова М. Н. |
Дата публикации : | 2007 |
Библиографическое описание : | Осипов, А. Н. Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры / А. Н. Осипов, М. Н. Филимонова // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 160-162. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\534564 |
Ключевые слова: | тонкопленочные структуры тонкая алюминевая пленка тонкие пленки алюминия рост тонких пленок компьютерное моделирование |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-160-162.pdf | 68.71 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.