Отрывок: По измеренному спектру отражения естественного света были рассчитаны спектры показателя преломления и коэффициента поглощения. Измерения эллипсометрических параметров исследуемых структур SiC/поликор проводились на спектральном эллипсометре VASE (variable angle spectral ellipsometer) при углах падения от 65º до 70º в диапазоне длин волн от 200 до 1000 нм. Угол наклона плоскости поляризации падающего излучения к плоскости падения при всех измерениях был равен 45º [6]. На о...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Курганская Л. В. | ru |
dc.contributor.author | Рябенкова О. В. | ru |
dc.contributor.author | Щербак А. В. | ru |
dc.coverage.spatial | эллипсометрия | ru |
dc.coverage.spatial | оптические параметры | ru |
dc.coverage.spatial | спектры отражения | ru |
dc.coverage.spatial | метод нормального отражения | ru |
dc.coverage.spatial | метод магнетронного распыления | ru |
dc.coverage.spatial | материалы электронной техники | ru |
dc.coverage.spatial | карбид кремния | ru |
dc.creator | Курганская Л. В., Рябенкова О. В., Щербак А. В. | ru |
dc.date.issued | 2024 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\554786 | ru |
dc.identifier.citation | Курганская, Л. В. Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления / Л. В. Курганская, О. В. Рябенкова, А. В. Щербак // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 270-271. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.source | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.). - Текст : электронный | ru |
dc.title | Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 271 | ru |
dc.citation.spage | 270 | ru |
dc.textpart | По измеренному спектру отражения естественного света были рассчитаны спектры показателя преломления и коэффициента поглощения. Измерения эллипсометрических параметров исследуемых структур SiC/поликор проводились на спектральном эллипсометре VASE (variable angle spectral ellipsometer) при углах падения от 65º до 70º в диапазоне длин волн от 200 до 1000 нм. Угол наклона плоскости поляризации падающего излучения к плоскости падения при всех измерениях был равен 45º [6]. На о... | - |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-903943-20-3_2024-270-271.pdf | 185.04 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.