Отрывок: При взаимодействии иона азота с атомом алюминия имеем МAl/МN2 = 0,962 и α = 0,3 [14], тогда S2λe=1,238. Данное значение коэффициента распыления показывает, что ион способен удалять атомы поверхности катода в области ячеек сетки катода, образуя ямки травления, глубина которых, согласно рис. 2в, составляет 300 мкм. Скорость распыления, определяемая по формуле [14]: A keku Ne MSj , (4) где jи – плотност...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Колпаков, В.А. | - |
dc.contributor.author | Кричевский, С.В. | - |
dc.contributor.author | Графкин, В.В. | - |
dc.contributor.author | Маркушин, М.А. | - |
dc.contributor.author | Струкель, Ю.С. | - |
dc.contributor.author | Серов, С.Г. | - |
dc.date.accessioned | 2016-12-08 14:59:46 | - |
dc.date.available | 2016-12-08 14:59:46 | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier | Dspace\SGAU\20161208\60643 | ru |
dc.identifier.citation | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 192-198 | ru |
dc.identifier.isbn | 978-5-7883-1078-7 | - |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Generator-vneelektrodnoi-plazmy-s-polym-katodom-60643 | - |
dc.description.abstract | Предложен генератор формирующий широкоапертурный поток отрицательно заряженных частиц плазмы с сечением 120 мм. Параметры генератора: ток разряда - 1 А; ускоряющее напряжение от 0.3 до 6 кВ; плотность тока до 10 мА/см2; длина потока до 50 см; равномерность распределения заряженных частиц по сечению потока плазмы не хуже 98%. Конструкция генератора содержит коаксиально расположенные ячейки сетчатого анода и сетки катода, замыкающей полость в его объеме глубиной L = 3–5 длин свободного пробега электрона в потоке газоразрядной плазмы. Расстояние между сетчатым анодом и сеткой катода равно темному астоновому пространству тлеющего разряда. Показано, что длительность непрерывной работы катода и диапазон рабочих давлений определяются выбранными значениями глубины его полости и ускоряющего напряжения. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.publisher | Издательство СГАУ | ru |
dc.subject | генератор внеэлектродной плазмы | ru |
dc.subject | полый катод | ru |
dc.subject | формирование оптических микроструктур | ru |
dc.title | Генератор внеэлектродной плазмы с полым катодом | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.textpart | При взаимодействии иона азота с атомом алюминия имеем МAl/МN2 = 0,962 и α = 0,3 [14], тогда S2λe=1,238. Данное значение коэффициента распыления показывает, что ион способен удалять атомы поверхности катода в области ячеек сетки катода, образуя ямки травления, глубина которых, согласно рис. 2в, составляет 300 мкм. Скорость распыления, определяемая по формуле [14]: A keku Ne MSj , (4) где jи – плотност... | - |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
192-198.pdf | Основная статья | 566.41 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.