Отрывок: При взаимодействии иона азота с атомом алюминия имеем МAl/МN2 = 0,962 и α = 0,3 [14], тогда S2λe=1,238. Данное значение коэффициента распыления показывает, что ион способен удалять атомы поверхности катода в области ячеек сетки катода, образуя ямки травления, глубина которых, согласно рис. 2в, составляет 300 мкм. Скорость распыления, определяемая по формуле [14]: A keku Ne MSj , (4) где jи – плотност...
Название : | Генератор внеэлектродной плазмы с полым катодом |
Авторы/Редакторы : | Колпаков, В.А. Кричевский, С.В. Графкин, В.В. Маркушин, М.А. Струкель, Ю.С. Серов, С.Г. |
Ключевые слова : | генератор внеэлектродной плазмы полый катод формирование оптических микроструктур |
Дата публикации : | 2016 |
Издательство : | Издательство СГАУ |
Библиографическое описание : | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 192-198 |
Аннотация : | Предложен генератор формирующий широкоапертурный поток отрицательно заряженных частиц плазмы с сечением 120 мм. Параметры генератора: ток разряда - 1 А; ускоряющее напряжение от 0.3 до 6 кВ; плотность тока до 10 мА/см2; длина потока до 50 см; равномерность распределения заряженных частиц по сечению потока плазмы не хуже 98%. Конструкция генератора содержит коаксиально расположенные ячейки сетчатого анода и сетки катода, замыкающей полость в его объеме глубиной L = 3–5 длин свободного пробега электрона в потоке газоразрядной плазмы. Расстояние между сетчатым анодом и сеткой катода равно темному астоновому пространству тлеющего разряда. Показано, что длительность непрерывной работы катода и диапазон рабочих давлений определяются выбранными значениями глубины его полости и ускоряющего напряжения. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Generator-vneelektrodnoi-plazmy-s-polym-katodom-60643 |
ISBN : | 978-5-7883-1078-7 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20161208\60643 |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
192-198.pdf | Основная статья | 566.41 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.