Отрывок: Ограниченной кривыми линиями областью обозначена полученная после проявления топология хромовой маски. Стрелкой показано направление сканирования лазерного пучка. Угол угол входа лазерного трека в край структуры микроэлемента. Видно, что в местах стыка дифракционных зон по диагонали присутствуют разрывы и слияния. Разрывы образуются в местах, где действует короткий лазерный импульс (точка 1 ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Куц Р. И. | ru |
dc.contributor.author | Корольков В. П. | ru |
dc.contributor.author | Саметов А. Р. | ru |
dc.contributor.author | Черкашин В. В. | ru |
dc.contributor.author | Голубцов С. К. | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционные оптические элементы | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционные структуры | ru |
dc.coverage.spatial | искажение топологических элементов | ru |
dc.coverage.spatial | ошибки топологии | ru |
dc.coverage.spatial | скрещенные дифракционные решетки | ru |
dc.coverage.spatial | прямая лазерная запись | ru |
dc.coverage.spatial | технологические параметры | ru |
dc.coverage.spatial | термохимическое окисление | ru |
dc.coverage.spatial | тонкие пленки металлов | ru |
dc.creator | Куц Р. И., Корольков В. П., Саметов А. Р., Черкашин В. В., Голубцов С. К. | ru |
dc.date.issued | 2022 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\491268 | ru |
dc.identifier.citation | Исследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток / Р. И. Куц, В. П. Корольков, А. Р. Саметов, В. В. Черкашин, С. К. Голубцов // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2022Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2022. - С. 012852. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.ispartof | Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. - | ru |
dc.source | Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника | ru |
dc.title | Исследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.spage | 012852 | ru |
dc.citation.volume | 1 | ru |
dc.textpart | Ограниченной кривыми линиями областью обозначена полученная после проявления топология хромовой маски. Стрелкой показано направление сканирования лазерного пучка. Угол угол входа лазерного трека в край структуры микроэлемента. Видно, что в местах стыка дифракционных зон по диагонали присутствуют разрывы и слияния. Разрывы образуются в местах, где действует короткий лазерный импульс (точка 1 ... | - |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-7883-1789-2_2022-012852.pdf | 977.69 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.