Отрывок: Ограниченной кривыми линиями областью обозначена полученная после проявления топология хромовой маски. Стрелкой показано направление сканирования лазерного пучка. Угол угол входа лазерного трека в край структуры микроэлемента. Видно, что в местах стыка дифракционных зон по диагонали присутствуют разрывы и слияния. Разрывы образуются в местах, где действует короткий лазерный импульс (точка 1 ...
Название : | Исследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток |
Авторы/Редакторы : | Куц Р. И. Корольков В. П. Саметов А. Р. Черкашин В. В. Голубцов С. К. |
Дата публикации : | 2022 |
Библиографическое описание : | Исследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток / Р. И. Куц, В. П. Корольков, А. Р. Саметов, В. В. Черкашин, С. К. Голубцов // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2022Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2022. - С. 012852. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\491268 |
Ключевые слова: | дифракционные оптические элементы дифракционные структуры искажение топологических элементов ошибки топологии скрещенные дифракционные решетки прямая лазерная запись технологические параметры термохимическое окисление тонкие пленки металлов |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-7883-1789-2_2022-012852.pdf | 977.69 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.