Отрывок: Электрон- электронные взаимодействия, приводящие к разрывам при этом могут быть определены с использованием случайных чисел из промежутка [0, 1) на основе стандартного алгоритма Монте-Карло. Для верификации такого подхода, было проведено моделирование эксперимента, описанного в работе Харриса. Промоделированное распределение молекулярной массы ПММА Секция: Компьютерная оптика и нанофотоника Новый ми...
Название : | Новый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографии |
Авторы/Редакторы : | Сидоров Ф. А. Рогожин А. Е. |
Дата публикации : | 2020 |
Библиографическое описание : | Сидоров, Ф. А. Новый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографии / Ф. А. Сидоров, А. Е. Рогожин // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Тек / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - 2020. - Т. 1. - С. 412-418 |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Novyi-mikroskopicheskii-podhod-k-modelirovaniu-processov-elektronnoluchevoi-litografii-85178 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\441605 |
Ключевые слова: | метод Монте-Карло микроскопический алгоритм математическое моделирование полиметилметакрилат модель дискретных потерь энергии модель идеальной цепи электронно-лучевая литография |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
ИТНТ-2020_том 1-412-418.pdf | 459.71 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.