Отрывок: Проблемы, связанны е с производ ством фотошаблонов, определяются ря дом специфических, особенностей , предъявляемыми к ним требованиям и, к числу которых о тн о сятся : высокая н о с т ь ; высокая м ен тов; выс ока...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Буянов В. К. | ru |
dc.contributor.author | Самсонов А. Ю. | ru |
dc.contributor.author | Пиганов М. Н. | ru |
dc.contributor.author | Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы | ru |
dc.contributor.author | Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева | ru |
dc.coverage.spatial | гибкие интегральные схемы | ru |
dc.coverage.spatial | микроэлектроника | ru |
dc.coverage.spatial | пассивные элементы | ru |
dc.coverage.spatial | технология РЭА | ru |
dc.coverage.spatial | фотолитографические методы | ru |
dc.date.accessioned | 2022-05-31 09:59:14 | - |
dc.date.available | 2022-05-31 09:59:14 | - |
dc.date.issued | 1991 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\478980 | ru |
dc.identifier.citation | Исследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок : метод. указания к лаб. работе / Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк., Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. К. Буянов, А. Ю. Самсонов, М. Н. Пиганов. - Самара, 1991. - 1 файл (1,04 Мб). - Текст : электронный | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Issledovanie-processov-fotolitografii-pri-izgotovlenii-tolstoplenochnyh-mikrosborok-97686 | - |
dc.description.abstract | Используемые программы: Adobe Acrobat. | ru |
dc.description.abstract | Предлагаются методы изучения и практического освоения методики изготовления пассивных элементов гибких интегральных схем фотолитографическим методом. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуются студентам специальности 23.03. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЭА". | ru |
dc.description.abstract | Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.isformatof | Исследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок : метод. указания к лаб. работе. - Текст : непосредственный | ru |
dc.title | Исследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.01 | ru |
dc.subject.udc | 621.382.049.776(075) | ru |
dc.textpart | Проблемы, связанны е с производ ством фотошаблонов, определяются ря дом специфических, особенностей , предъявляемыми к ним требованиям и, к числу которых о тн о сятся : высокая н о с т ь ; высокая м ен тов; выс ока... | - |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Буянов В.К. Исследование процессов фотолитографии 1991.pdf | 1.06 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.