Отрывок: Проблемы, связанны е с производ ством фотошаблонов, определяются ря дом специфических, особенностей , предъявляемыми к ним требованиям и, к числу которых о тн о сятся : высокая н о с т ь ; высокая м ен тов; выс ока...
Название : | Исследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок |
Авторы/Редакторы : | Буянов В. К. Самсонов А. Ю. Пиганов М. Н. Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 1991 |
Библиографическое описание : | Исследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок : метод. указания к лаб. работе / Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк., Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. К. Буянов, А. Ю. Самсонов, М. Н. Пиганов. - Самара, 1991. - 1 файл (1,04 Мб). - Текст : электронный |
Аннотация : | Используемые программы: Adobe Acrobat. Предлагаются методы изучения и практического освоения методики изготовления пассивных элементов гибких интегральных схем фотолитографическим методом. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуются студентам специальности 23.03. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЭА". Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Issledovanie-processov-fotolitografii-pri-izgotovlenii-tolstoplenochnyh-mikrosborok-97686 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\478980 |
Ключевые слова: | гибкие интегральные схемы микроэлектроника пассивные элементы технология РЭА фотолитографические методы |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Буянов В.К. Исследование процессов фотолитографии 1991.pdf | 1.06 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.