Отрывок: Испарители из ленточного ( листового) материала обычно изготовляют из вольфрама, тантала или молибдена тол- щиной 0,25 мм. Они используются для навесок до нескольких граммов, а также в случае плохой смачиваемости .Испарители в виде тиглей ( рисунок 2 ) применяют, если необходимо загружать большие количества ( как пра- вило, сыпучего ) материала ( несколько граммов и более ) . Материал тигля подбирают в зависимости от испаряемого материала ( таблица 3 ) . ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Дмитриев В. Д. | ru |
dc.contributor.author | Меркулов А. И. | ru |
dc.contributor.author | Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева | ru |
dc.coverage.spatial | гибридные интегральные схемы | ru |
dc.coverage.spatial | осаждаемые материалы | ru |
dc.coverage.spatial | интегральные микросхемы | ru |
dc.coverage.spatial | навески | ru |
dc.coverage.spatial | методы осаждения | ru |
dc.coverage.spatial | технологические процессы | ru |
dc.coverage.spatial | пассивные элементы | ru |
dc.coverage.spatial | пассивные элементы интегральных микросхем | ru |
dc.coverage.spatial | маски | ru |
dc.coverage.spatial | материалы для испарителей | ru |
dc.coverage.spatial | метод термического осаждения в вакууме | ru |
dc.date.issued | 2002 | ru |
dc.identifier | RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-216195 | ru |
dc.identifier.citation | Изучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, сост. А. И. Меркулов. - Самара, 2002. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Приводятся сведения об осаждаемых материалах и материалах для испарителей, конструкции испарителей, технологических процессах подготовки испарителей, навесок и масок к напылению. Описаны технологические процессы изготовления тонкопленочных пассивных элеме | ru |
dc.description.abstract | Используемые программы: Adobe Acrobat | ru |
dc.description.abstract | Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 285 Кбайт) | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.isformatof | Изучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме [Текст] : метод. указан | ru |
dc.title | Изучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.45 | ru |
dc.subject.udc | 621.382(075) | ru |
dc.subject.udc | СГАУ:6(075) | ru |
dc.textpart | Испарители из ленточного ( листового) материала обычно изготовляют из вольфрама, тантала или молибдена тол- щиной 0,25 мм. Они используются для навесок до нескольких граммов, а также в случае плохой смачиваемости .Испарители в виде тиглей ( рисунок 2 ) применяют, если необходимо загружать большие количества ( как пра- вило, сыпучего ) материала ( несколько граммов и более ) . Материал тигля подбирают в зависимости от испаряемого материала ( таблица 3 ) . ... | - |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Дмитриев В.Д. Изучение технологии 2002.pdf | 202.54 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.