Отрывок: Испарители из ленточного ( листового) материала обычно изготовляют из вольфрама, тантала или молибдена тол- щиной 0,25 мм. Они используются для навесок до нескольких граммов, а также в случае плохой смачиваемости .Испарители в виде тиглей ( рисунок 2 ) применяют, если необходимо загружать большие количества ( как пра- вило, сыпучего ) материала ( несколько граммов и более ) . Материал тигля подбирают в зависимости от испаряемого материала ( таблица 3 ) . ...
Название : | Изучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме |
Авторы/Редакторы : | Дмитриев В. Д. Меркулов А. И. Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 2002 |
Библиографическое описание : | Изучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, сост. А. И. Меркулов. - Самара, 2002. - on-line |
Аннотация : | Приводятся сведения об осаждаемых материалах и материалах для испарителей, конструкции испарителей, технологических процессах подготовки испарителей, навесок и масок к напылению. Описаны технологические процессы изготовления тонкопленочных пассивных элеме Используемые программы: Adobe Acrobat Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) |
Другие идентификаторы : | RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-216195 |
Ключевые слова: | гибридные интегральные схемы осаждаемые материалы интегральные микросхемы навески методы осаждения технологические процессы пассивные элементы пассивные элементы интегральных микросхем маски материалы для испарителей метод термического осаждения в вакууме |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Дмитриев В.Д. Изучение технологии 2002.pdf | 202.54 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.