Отрывок: Кроме того, исследования показали, что экспериментальные данные, полученные разными методами (измеренные методом конденсации, окунания и трибометрии), хорошо согласуются с теоретическими кривыми. Режимы финишной очистки подложек в ПВГР, полученные с использованием выражения (1), обеспечивают параметры поверхности микрорельефа (рис. 1,а), значительно превосходящие аналогичные параметры микрорельефа, формируемого с применением химической очистки поверхности подложки (рис....
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Маркушин, М.А. | - |
dc.contributor.author | Столбинский, Д.В. | - |
dc.contributor.author | Кричевский, С.В. | - |
dc.date.accessioned | 2017-02-13 15:50:06 | - |
dc.date.available | 2017-02-13 15:50:06 | - |
dc.date.issued | 2015 | - |
dc.identifier | Dspace\SGAU\20170213\62277 | ru |
dc.identifier.citation | XIII Королёвские чтения: Международная молодёжная научная конференция, Самара, 6-8 октября 2015 года: Тезисы докладов, T.2. Самара: Издательство СГАУ, 2015, с. 56-57 | ru |
dc.identifier.isbn | 978-5-9905304-6-1 | - |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Metod-ocenki-chistoty-poverhnosti-podlozhek-obrabotannyh-plazmoi-vysokovoltnogo-gazovogo-razryada-62277 | - |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.publisher | Издательство СГАУ | ru |
dc.subject | плазма внеэлектродного газового разряда | ru |
dc.subject | подложки | ru |
dc.subject | финишная очистка | ru |
dc.title | Метод оценки чистоты поверхности подложек, обработанных плазмой высоковольтного газового разряда | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.textpart | Кроме того, исследования показали, что экспериментальные данные, полученные разными методами (измеренные методом конденсации, окунания и трибометрии), хорошо согласуются с теоретическими кривыми. Режимы финишной очистки подложек в ПВГР, полученные с использованием выражения (1), обеспечивают параметры поверхности микрорельефа (рис. 1,а), значительно превосходящие аналогичные параметры микрорельефа, формируемого с применением химической очистки поверхности подложки (рис.... | - |
dc.classindex.udc | 621.382 | - |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
56-57.pdf | Основная статья | 373.3 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.