Отрывок: Кроме того, исследования показали, что экспериментальные данные, полученные разными методами (измеренные методом конденсации, окунания и трибометрии), хорошо согласуются с теоретическими кривыми. Режимы финишной очистки подложек в ПВГР, полученные с использованием выражения (1), обеспечивают параметры поверхности микрорельефа (рис. 1,а), значительно превосходящие аналогичные параметры микрорельефа, формируемого с применением химической очистки поверхности подложки (рис....
Название : | Метод оценки чистоты поверхности подложек, обработанных плазмой высоковольтного газового разряда |
Авторы/Редакторы : | Маркушин, М.А. Столбинский, Д.В. Кричевский, С.В. |
Ключевые слова : | плазма внеэлектродного газового разряда подложки финишная очистка |
Дата публикации : | 2015 |
Издательство : | Издательство СГАУ |
Библиографическое описание : | XIII Королёвские чтения: Международная молодёжная научная конференция, Самара, 6-8 октября 2015 года: Тезисы докладов, T.2. Самара: Издательство СГАУ, 2015, с. 56-57 |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Metod-ocenki-chistoty-poverhnosti-podlozhek-obrabotannyh-plazmoi-vysokovoltnogo-gazovogo-razryada-62277 |
ISBN : | 978-5-9905304-6-1 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20170213\62277 |
УДК: | 621.382 |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
56-57.pdf | Основная статья | 373.3 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.