Отрывок: Канал заполнен сорбентом 5. Разработанный базовый алгоритм создания системы выглядит следующим образом: 1. на предварительно очищенную стеклянную или керамическую пластину 1 наносят методом магнетронного распыления тонкий металлический слой 4; 2. на тонкий металлический слой наносится фоторезист, и методом фотолитографии создается рисунок каналов 3; 3. производится жидкостное травление каналов на плас...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Потиенко К. И. | ru |
dc.contributor.author | Агафонов А. Н. | ru |
dc.coverage.spatial | аналитическая химия | ru |
dc.coverage.spatial | кремниевые подложки | ru |
dc.coverage.spatial | жидкостное химическое травление | ru |
dc.coverage.spatial | микрофлюидные системы | ru |
dc.coverage.spatial | стеклянные подложки | ru |
dc.creator | Потиенко К. И., Агафонов А. Н. | ru |
dc.date.issued | 2019 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\430519 | ru |
dc.identifier.citation | Потиенко, К. И. Разработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложек / К. И. Потиенко, А. Н. Агафонов // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 415-416 | ru |
dc.relation.ispartof | XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 | ru |
dc.source | XV Королевские чтения. - Т. 1 | ru |
dc.title | Разработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложек | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 416 | ru |
dc.citation.spage | 415 | ru |
dc.citation.volume | 1 | ru |
dc.textpart | Канал заполнен сорбентом 5. Разработанный базовый алгоритм создания системы выглядит следующим образом: 1. на предварительно очищенную стеклянную или керамическую пластину 1 наносят методом магнетронного распыления тонкий металлический слой 4; 2. на тонкий металлический слой наносится фоторезист, и методом фотолитографии создается рисунок каналов 3; 3. производится жидкостное травление каналов на плас... | - |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
XV Королевские чтения 2019 Том 1-415-416.pdf | 897.35 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.