Отрывок: Канал заполнен сорбентом 5. Разработанный базовый алгоритм создания системы выглядит следующим образом: 1. на предварительно очищенную стеклянную или керамическую пластину 1 наносят методом магнетронного распыления тонкий металлический слой 4; 2. на тонкий металлический слой наносится фоторезист, и методом фотолитографии создается рисунок каналов 3; 3. производится жидкостное травление каналов на плас...
Название : | Разработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложек |
Авторы/Редакторы : | Потиенко К. И. Агафонов А. Н. |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Потиенко, К. И. Разработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложек / К. И. Потиенко, А. Н. Агафонов // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 415-416 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\430519 |
Ключевые слова: | аналитическая химия кремниевые подложки жидкостное химическое травление микрофлюидные системы стеклянные подложки |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
XV Королевские чтения 2019 Том 1-415-416.pdf | 897.35 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.