Отрывок: ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1. 1. Анализ литературы показал, что способы создания структур , основанные на соединении пластин, составляют основу технологии создания МЭМС. Такие способы позволяют добиться более высоких параметров и открывают перспективы создания принципиально новых конструкций. Одним из наиболее перспективных является низкотемпературное анодное сращивание, которое дает возможность сращивания различных материалов (например, кремния...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Шульга В. В. | ru |
dc.contributor.author | Агафонов А. Н. | ru |
dc.contributor.author | Платонов В. И. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт электроники и приборостроения | ru |
dc.coverage.spatial | сращивание | ru |
dc.coverage.spatial | соединение поверхностей | ru |
dc.coverage.spatial | боросиликатное стекло | ru |
dc.coverage.spatial | лабораторные установки | ru |
dc.coverage.spatial | герметизация | ru |
dc.coverage.spatial | микрофлюидика | ru |
dc.coverage.spatial | металлизация | ru |
dc.creator | Шульга В. В. | ru |
dc.date.issued | 2017 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150950 | ru |
dc.identifier.citation | Шульга, В. В. Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. В. Шульга ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения,. - Самара, 2017. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Цель работы - исследование процесса анодного сращивания натриевых и боросиликатных стекол с слоями металлизации, в присутствии электрического поля. Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Обзор существующих методов соединения поверхностей для микрофлюидики и МЭМС; 2. Изучение метода анодного сращивания; 3. Экспериментальное исследование режимов анодного сращивания и влияния различных характеристик; 4. Разработка методики анодного сращивания | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,2 Мб) | ru |
dc.title | Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 34.05 | ru |
dc.subject.udc | 543 | ru |
dc.textpart | ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1. 1. Анализ литературы показал, что способы создания структур , основанные на соединении пластин, составляют основу технологии создания МЭМС. Такие способы позволяют добиться более высоких параметров и открывают перспективы создания принципиально новых конструкций. Одним из наиболее перспективных является низкотемпературное анодное сращивание, которое дает возможность сращивания различных материалов (например, кремния... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Шульга_Василий_Викторович_Разработка_лабораторной_установки.pdf | 1.24 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.