Отрывок: ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1. 1. Анализ литературы показал, что способы создания структур , основанные на соединении пластин, составляют основу технологии создания МЭМС. Такие способы позволяют добиться более высоких параметров и открывают перспективы создания принципиально новых конструкций. Одним из наиболее перспективных является низкотемпературное анодное сращивание, которое дает возможность сращивания различных материалов (например, кремния...
Название : | Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания |
Авторы/Редакторы : | Шульга В. В. Агафонов А. Н. Платонов В. И. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт электроники и приборостроения |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Шульга, В. В. Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. В. Шульга ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения,. - Самара, 2017. - on-line |
Аннотация : | Цель работы - исследование процесса анодного сращивания натриевых и боросиликатных стекол с слоями металлизации, в присутствии электрического поля. Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Обзор существующих методов соединения поверхностей для микрофлюидики и МЭМС; 2. Изучение метода анодного сращивания; 3. Экспериментальное исследование режимов анодного сращивания и влияния различных характеристик; 4. Разработка методики анодного сращивания |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150950 |
Ключевые слова: | сращивание соединение поверхностей боросиликатное стекло лабораторные установки герметизация микрофлюидика металлизация |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Шульга_Василий_Викторович_Разработка_лабораторной_установки.pdf | 1.24 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.