Отрывок: В области кремния вследствие сдвига исходного распределения на отрезок d2 - d1 - распределение имеет вид N 2 (x) = Q d i ^ ARp 2 exp ( x + (d2 - d1 ) - R p2 ) 2 2 ( A R p 2 ) 2 Q ^ M p 2 exp xr t \ ARp212d1 + (d1- Rp1 ) A^R- p1 p 2 2 , x > d1 (18) Погрешность аппроксимации распределения во втором слое составляет величину R 2 - R 1p2 p1 ARp2 AR П = p1R (19) p2 —00 —00 16 Если имплантируется структура с кремниевой подложкой противоположного типа проводимости по отношени...
Название : | Моделирование профилей распределения ионно-имплантированных примесей в многослойных структурах |
Авторы/Редакторы : | Макаров И. А. Козлова И. Н. Министерство образования и науки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2020 |
Библиографическое описание : | Макаров, И. А. Моделирование профилей распределения ионно-имплантированных примесей в многослойных структурах : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / И. А. Макаров ; рук. работы И. Н. Козлова ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т электроники и приборостроен. - Самара, 2020. - on-line |
Аннотация : | В настоящей работе проводится изучение некоторых методов ионной имплантации примесей в многослойные структуры. Дается обзор принципов технологии имплантации ионов в структуру твердого тела, приводятсянекоторые популярные методы расчета распределения концентрации примеси. В работе также демонстрируются расчеты распределения концентрации имплантированных ионов бора в двух- и трехслойную структуру на основе кремния, полученные по методу Монте-Карло и методуподбора доз. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210218154403 |
Ключевые слова: | ионная имплантация ионно-имплантированные примеси метод подбора доз метод Монте-Карло многослойные структуры легирование |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Макаров_Илья_Андреевич_Моделирование_профилей_распределения_ионно.pdf | 393.72 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.