Отрывок: Для изготовления пресс-формы используются металлы, полупроводники и диэлектрики, как правило, применяя метод электронной литографии. Рисунок 7 - Схема нанопечатной литографии (остатки резиста на вдавленных участках анизотропно вытравливаются): 1 - подложка, 2 - резист, 3 - штамп Метод нанопечатной литографии лишён основных проблем других литографических методов, таких как эффекты близости, диффузионный предел, а та...
Название : | Получение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травления |
Авторы/Редакторы : | Хоробров В. С. Паранин В. Д. Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2020 |
Библиографическое описание : | Хоробров, В. С. Получение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / В. С. Хоробров ; рук. работы В. Д. Паранин ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т. - Самара, 2020. - on-line |
Аннотация : | Проведён поиск необходимой литературы в области микро- и нанотехнологий. Обоснована целесообразность использования конкретных методов травления и литографии для проведения технологического процесса. Проведена оптимизация технологического процесса сухого травления приповерхностного слоя кремния. В ходе ВКР была получена технология прямого литографического процесса с высоким разрешением и возможностью создания квазинепрерывного профиля, позволяющая производить быстрое прототипирование устройств в приповерхностном слое кремния. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20200914152041 |
Ключевые слова: | технологические процессы электронная литография шаблон BOSCH процессы кремниевая подложка маска маскирующие покрытия сухое травление |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Хоробров_Виталий_Сергеевич_Получение_маскирующих_покрытий_методом.pdf | 1.71 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.