Отрывок: Благодаря высокой селективности и возможности проведения травления без использования пониженных температур, на сегодняшний день Bosch- процесс является самым оптимальным для формирования на кремниевых подложках вертикальных структур глубиной порядка сотен микрон. 21 2 Технологические процессы очистки поверхности полупроводниковых пласти...
Название : | Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики |
Авторы/Редакторы : | Михайлов Д. С. Павельев В. С. Полетаев С. Д. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2018 |
Библиографическое описание : | Михайлов, Д. С. Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. С. Михайлов ; рук. работы В. С. Павельев; рец. С. Д. Полетаев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эл. - Самара, 2018. - on-line |
Аннотация : | В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с методами анизотропного плазмохимического травления.Цель работы – получение трехуровневого рельефа в кремниевой подложке методом глубокого анизотропного плазмохимического травления.Рассмотрены достоинс |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718133421 |
Ключевые слова: | BOSCH процессы дифракционная оптика источник индуктивно-связанной плазмы анизотропное травление кремнием плазмохимическое травление |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Михайлов_Дмитрий_Сергеевич_Разработка_технологии_изготовления_трехуровневого.pdf | 1.55 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.