Отрывок: Детальные исследования с помощью рентгеновской фотоэлектронной микро- скопии и ионной спектроскопии средних энергий показывают, что межфаз- ный слой состоит из GeO2, а его толщина составляет около 0,3 нм [69]. Со- гласованные результаты различных групп, независимо от методов осаждения high-k диэлектриков, предполагают, что это можно объяснить внутренними свойствами, связанными с термодинамической нестабильно...
Название : | Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком |
Авторы/Редакторы : | Кропотов М. С. Шалимова М. Б. Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Естественнонаучный институт |
Дата публикации : | 2021 |
Библиографическое описание : | Кропотов, М. С. Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / М. С. Кропотов ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики т. - Самара, 2021. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования данной выпускной квалификационной работы являются МДП-структуры со фторсодержащими high-k диэлектриками. Целью работы является анализ изменения параметров германиевых МДП- структур с high-k диэлектриками (фториды иттрия, неодима, самария), подвергнутых действию высокого электрического поля в процессе электроформовки. В качестве экспериментальных образцов использовались фторсодержащие диэлектрические пленки на монокристаллических подложках германия. Измерены высокочастотные вольт-ёмкостные характеристики получившихся МДП-структур с последующей оценкой и анализом влияния воздействия электрических полей на деградацию их параметров. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210924140644 |
Ключевые слова: | германий затворные high-k диэлектрики МДП-устройства полевые транзисторы полупроводниковые устройства соединения редкоземельных элементов |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Кропотов_Михаил_Сергеевич_Вопросы_надёжности_устройств.pdf | 2.33 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.