Отрывок: 8. Профиль падающего пучка ЛСЭ Эксперимент продемонстрировал фокусирующие способности созданного элемента, эксперименталь- ная оценка фокусного расстояния находится в хоро- шем соответствии с расчётным фокусным расстояни- ем. Однако экспериментальная оценка дифракцион- ной эффективности была значительно меньше рас- http://www.computeroptics.ru journal@computeroptics.ru 66 Computer Optics, 2023, Vol. 47(1) DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1194 чётной. Расхождение эксперимент...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Харитонов, С.И. | - |
dc.contributor.author | Павельев, В.С. | - |
dc.contributor.author | Казанский, Н.Л. | - |
dc.contributor.author | Стрелков, Ю.С. | - |
dc.contributor.author | Тукмаков, К.Н. | - |
dc.contributor.author | Решетников, А.С. | - |
dc.contributor.author | Ганчевская, С.В. | - |
dc.contributor.author | Герасимов, В.В. | - |
dc.contributor.author | Князев, Б.А. | - |
dc.date.accessioned | 2023-02-21 10:12:31 | - |
dc.date.available | 2023-02-21 10:12:31 | - |
dc.date.issued | 2023-02 | - |
dc.identifier | Dspace\SGAU\20230216\102026 | ru |
dc.identifier.citation | Харитонов, С.И. Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона / С.И. Харитонов, В.С. Павельев, Н.Л. Казанский, Ю.С. Стрелков, К.Н. Тукмаков, А.С. Решетников, С.В. Ганчевская, В.В. Герасимов, Б.А. Князев // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47, № 1. – С. 62-67. – DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1194. | ru |
dc.identifier.uri | 10.18287/2412-6179-CO-1194 | - |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Optimizaciya-izgotovlenie-i-issledovanie-kremnievoi-binarnoi-subvolnovoi-cilindricheskoi-linzy-teragercovogo-diapazona-102026 | - |
dc.description.abstract | Рассмотрена задача оптимизации и изготовления субволновой бинарной цилиндрической пропускающей дифракционной линзы с фокусным расстоянием f=300 мм для длины волны λ=141 мкм. В качестве материала подложки дифракционной линзы использовался высокоомный кремний. Расчётное значение угла падения освещающего пучка составляло π/6. Параметрами оптимизации были выбраны высота профиля дифракционной линзы и коэффициент заполнения штриха. Главной целью оптимизации конструкции было увеличение дифракционной эффективности линзы. Расчёт дифракционной эффективности дифракционной линзы осуществлялся методом Фурье-мод. Дифракционная линза изготовлена методом плазмохимического травления (Бош-процесс) поверхности кремниевой подложки. Оценка дифракционной эффективности рассчитанной линзы составила e=70%. Однако экспериментально измеренная дифракционная эффективность была значительно меньше расчётной. В статье приведён анализ снижения дифракционной эффективности, связанного с 1) технологическими погрешностями формирования дифракционного микрорельефа; 2) деструктивной интерференцией излучения в случае отсутствия учёта толщины кремниевой подложки при расчёте микрорельефа. Приведены рекомендации по расчёту микрорельефа с учётом толщины подложки. | ru |
dc.description.sponsorship | Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект № 19-72-20202) на уникальной установке «Новосибирский лазер на свободных электронах» с использованием оборудования «Сибирского центра синхротронного и терагерцового излучения». | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.publisher | Самарский национальный исследовательский университет | ru |
dc.relation.ispartofseries | 47;1 | - |
dc.subject | бинарная линза, субволновый микрорельеф, терагерцовое излучение, дифракционные оптические элементы | ru |
dc.title | Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.textpart | 8. Профиль падающего пучка ЛСЭ Эксперимент продемонстрировал фокусирующие способности созданного элемента, эксперименталь- ная оценка фокусного расстояния находится в хоро- шем соответствии с расчётным фокусным расстояни- ем. Однако экспериментальная оценка дифракцион- ной эффективности была значительно меньше рас- http://www.computeroptics.ru journal@computeroptics.ru 66 Computer Optics, 2023, Vol. 47(1) DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1194 чётной. Расхождение эксперимент... | - |
dc.classindex.scsti | 29.35.33 | - |
Располагается в коллекциях: | Журнал "Компьютерная оптика" |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
08-1194-Харитонов_и_др-KI-Lit-MI-MA-NL-JuN2.pdf | Основная статья | 980.54 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.