Отрывок: 8. Профиль падающего пучка ЛСЭ Эксперимент продемонстрировал фокусирующие способности созданного элемента, эксперименталь- ная оценка фокусного расстояния находится в хоро- шем соответствии с расчётным фокусным расстояни- ем. Однако экспериментальная оценка дифракцион- ной эффективности была значительно меньше рас- http://www.computeroptics.ru journal@computeroptics.ru 66 Computer Optics, 2023, Vol. 47(1) DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1194 чётной. Расхождение эксперимент...
Название : | Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона |
Авторы/Редакторы : | Харитонов, С.И. Павельев, В.С. Казанский, Н.Л. Стрелков, Ю.С. Тукмаков, К.Н. Решетников, А.С. Ганчевская, С.В. Герасимов, В.В. Князев, Б.А. |
Ключевые слова : | бинарная линза, субволновый микрорельеф, терагерцовое излучение, дифракционные оптические элементы |
Дата публикации : | Фев-2023 |
Издательство : | Самарский национальный исследовательский университет |
Библиографическое описание : | Харитонов, С.И. Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона / С.И. Харитонов, В.С. Павельев, Н.Л. Казанский, Ю.С. Стрелков, К.Н. Тукмаков, А.С. Решетников, С.В. Ганчевская, В.В. Герасимов, Б.А. Князев // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47, № 1. – С. 62-67. – DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1194. |
Серия/номер : | 47;1 |
Аннотация : | Рассмотрена задача оптимизации и изготовления субволновой бинарной цилиндрической пропускающей дифракционной линзы с фокусным расстоянием f=300 мм для длины волны λ=141 мкм. В качестве материала подложки дифракционной линзы использовался высокоомный кремний. Расчётное значение угла падения освещающего пучка составляло π/6. Параметрами оптимизации были выбраны высота профиля дифракционной линзы и коэффициент заполнения штриха. Главной целью оптимизации конструкции было увеличение дифракционной эффективности линзы. Расчёт дифракционной эффективности дифракционной линзы осуществлялся методом Фурье-мод. Дифракционная линза изготовлена методом плазмохимического травления (Бош-процесс) поверхности кремниевой подложки. Оценка дифракционной эффективности рассчитанной линзы составила e=70%. Однако экспериментально измеренная дифракционная эффективность была значительно меньше расчётной. В статье приведён анализ снижения дифракционной эффективности, связанного с 1) технологическими погрешностями формирования дифракционного микрорельефа; 2) деструктивной интерференцией излучения в случае отсутствия учёта толщины кремниевой подложки при расчёте микрорельефа. Приведены рекомендации по расчёту микрорельефа с учётом толщины подложки. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | 10.18287/2412-6179-CO-1194 http://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Optimizaciya-izgotovlenie-i-issledovanie-kremnievoi-binarnoi-subvolnovoi-cilindricheskoi-linzy-teragercovogo-diapazona-102026 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20230216\102026 |
ГРНТИ: | 29.35.33 |
Располагается в коллекциях: | Журнал "Компьютерная оптика" |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
08-1194-Харитонов_и_др-KI-Lit-MI-MA-NL-JuN2.pdf | Основная статья | 980.54 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.