Отрывок: По измеренному спектру отражения естественного света были рассчитаны спектры показателя преломления и коэффициента поглощения. Измерения эллипсометрических параметров исследуемых структур SiC/поликор проводились на спектральном эллипсометре VASE (variable angle spectral ellipsometer) при углах падения от 65º до 70º в диапазоне длин волн от 200 до 1000 нм. Угол наклона плоскости поляризации падающего излучения к плоскости падения при всех измерениях был равен 45º [6]. На о...
Название : | Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления |
Авторы/Редакторы : | Курганская Л. В. Рябенкова О. В. Щербак А. В. |
Дата публикации : | 2024 |
Библиографическое описание : | Курганская, Л. В. Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления / Л. В. Курганская, О. В. Рябенкова, А. В. Щербак // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 270-271. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\554786 |
Ключевые слова: | эллипсометрия оптические параметры спектры отражения метод нормального отражения метод магнетронного распыления материалы электронной техники карбид кремния |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-903943-20-3_2024-270-271.pdf | 185.04 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.